光栅线位移传感器工作原理

光栅线位移传感器概述开放式光栅线位移传感器为高精度型，输出波形为正弦波，主要用于精密仪器的数字化的改造，分辨率可达0.1um；封闭式光栅线位移传感器则主要用于普通机床、仪器的数字化改造，输出的波形为方波，按外形可分为小型尺和标准尺，其中标准型长可做到3000mm，分辨率有1um、5um。
光栅位移传感器，是由一对光栅副中的主光栅（即标尺光栅）和副光栅（即指示光栅）进行相对位移时，在光的干涉与衍射共同作用下产生黑白相间（或明暗相间）的规则条纹图形，称之为莫尔条纹。经过光电器件转换使黑白（或明暗）相同的条纹转换成正弦波变化的电信号，再经过放大器放大，整形电路整形后，得到两路相差为90°的正弦波或方波，送入光栅数显表计数显示。