白光干涉仪?的关键技术参数

　　白光干涉仪是一种基于白光干涉原理的非接触式三维表面形貌测量仪器，广泛应用于半导体、精密制造、材料科学、生物医学等领域。其主要技术参数决定了仪器的测量能力、精度和适用范围。以下是白光干涉仪的关键技术参数：
　　1.垂直分辨率
　　定义：仪器能够检测到的小高度变化，通常在亚纳米级别。
　　典型值：0.1 nm到0.01 nm。
　　影响因素：光源相干性、干涉算法、相机噪声、环境振动等。
　　2.横向分辨率(Lateral Resolution)
　　定义：在样品平面上能够分辨的小特征尺寸，受光学系统衍射极限限制。
　　计算公式：通常与所用物镜的数值孔径（NA）和光源波长（λ）相关，约为0.61λ/NA。
　　典型值：从几百纳米到几微米不等，取决于物镜（如5x,10x,20x,50x,100x）。
　　3.测量范围
　　垂直测量范围(Z-Range)：单次扫描可测量的高度差。
　　典型值：从几微米到几十毫米，取决于物镜和扫描机构。
　　横向测量范围(X-Y Range)：单次成像或拼接扫描可覆盖的面积。
　　典型值：从几百微米×几百微米到几十毫米×几十毫米。
　　4.扫描速度
　　定义：完成一次垂直扫描所需的时间。
　　典型值：几十毫秒到几秒，高速型号可实现亚秒级扫描。
　　影响因素：压电扫描器性能、相机帧率、算法效率。
　　5.物镜类型与放大倍数
　　常用物镜：无限远校正物镜，如2.5x,5x,10x,20x,50x,100x。
　　特殊物镜：长工作距离（LWD）、超高数值孔径（UVNA）、激光共焦物镜等。
　　不同物镜影响横向分辨率、景深和工作距离。
　　6.光源
　　类型：通常为宽带白光LED或卤素灯，中心波长约500–600 nm。
　　特点：低相干性，有利于消除干涉级次模糊。
　　寿命：现代LED光源寿命可达数万小时。
　　7.探测器
　　类型：高分辨率CCD或CMOS相机。
　　像素数：常见1024×1024或更高，影响横向采样密度和视场。
　　动态范围：影响图像质量和信噪比。
　　8.Z轴扫描机构
　　类型：压电陶瓷驱动器（PZT）。
　　精度：纳米级或亚纳米级定位精度。
　　行程：决定垂直扫描范围。
　　9.环境抗干扰能力
　　隔振要求：对振动敏感，通常需要主动或被动隔振平台。
　　温度稳定性：温漂会影响测量精度，高端系统具备温度补偿功能。
　　10.软件功能与分析能力
　　表面形貌分析：粗糙度（Ra,Rq,Rz等）、波纹度、平坦度、台阶高度、体积、角度等。
　　符合标准：支持ISO 25178、ASME B46.1等表面参数标准。
　　图像处理：滤波、去噪、拼接、3D可视化、自动缺陷检测等。
　　11.工作距离
　　定义：物镜前透镜到样品表面的距离。
　　重要性：影响样品尺寸、夹具设计和探头接近性。
　　12.重复性
　　定义：在同一位置多次测量结果的一致性。
　　典型值：优于0.5 nm RMS（均方根值）。
　　总结：以上是白光干涉仪的技术参数，供参考，详细产品的技术参数请参考相关说明书。