真空快速退火炉的技术参数

　　真空快速退火炉的技术参数因不同制造商和型号而异，但通常涵盖温度范围、升温/降温速率、真空度、控温精度、加热方式、样品尺寸等关键指标。以下是综合多个品牌和型号的真空快速退火炉（RTP/RTA）的技术参数汇总：

　　一、核心性能参数

　　1.温度范围：

　　通常为室温至1200℃，部分型号可达1250℃。

　　例如：Advance Riko MILA-5000系列为室温~1200℃；某些小型RTP炉可达1250℃。

　　2.升温速率：

　　非常快，是“快速退火”的核心特征。

　　范围从50℃/秒到250℃/秒甚至更高。

　　例如：Advance Riko为50℃/s（真空）；AS-Micro型号快可达250℃/秒；百度百科提及的通用参数为100℃/秒。

　　3.降温速率：

　　同样迅速，以满足快速热循环需求。

　　可达30℃/s至50℃/s。

　　例如：RTP-1200型号从1000℃降至400℃仅需50秒；百度百科提及200℃/分钟（约3.3℃/s）从1000℃到300℃。

　　4.控温精度与均匀性：

　　控温精度：通常在±0.3℃至±5℃之间。

　　例如：RTP-1200为±0.3℃；小型RTP炉为±5℃。

　　温度均匀性：在1200℃下，可达到±2.0℃至±4.5℃。

　　例如：Advance Riko在1200℃真空下为±2.0℃。

　　5.真空度：

　　冷态极限真空：通常在10?3Torr至10?3Pa水平。

　　配置不同真空泵可达到不同真空度：

　　机械泵：约5Pa至10?3Torr。

　　分子泵：可低至1×10?3Pa或更高。

　　二、结构与配置参数

　　1.加热方式：

　　主要采用红外卤素钨灯或钨片加热。

　　加热功率一般在600W至1.2kW。

　　2.测温方式：

　　普遍使用红外测温传感器，直接测量样品表面温度，确保准确性。

　　测温范围通常覆盖400℃至1400℃。

　　3.有效热区/样品尺寸：

　　适用于小批量或科研样品。

　　尺寸范围：20x20mm、φ50mm或2英寸（约50.8mm）晶圆。

　　4.工作环境：

　　可在真空、惰性气体（如氮气、氩气）、空气或其他工艺气氛（如氧气、氢气）下进行热处理。

　　5.设备尺寸与重量：

　　多为紧凑的台式设计。

　　例如：RTP-1200尺寸为400300450mm，净重30kg。

　　综上所述，真空快速退火炉以其极高的升温/降温速率、的温度控制和灵活的气氛环境，成为材料科学、半导体和纳米技术等领域不可或缺的科研设备。具体参数需根据实际型号和应用需求进行选择。