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类别：技术参数 发布于：2021-07-28 09:33:23 | 101 次阅读
激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。
5D/6D标准型：
1. 线性：0.5ppm .
2. 测量范围：40米（1D可选80米）
3. 线性分辨力：0.001um.
4. 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值
5. 范围：800角秒
6. 滚动角精度：1.0角秒
7. 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值
8. 直线度范围：500um
9. 垂直度精度：1角秒
10. 温度精度：0.2摄氏度
11.湿度精度：5%
12.压力精度：1mmHg
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