能谱仪的分析特点

一、能谱仪与波谱仪简要：
能谱仪英文缩写是“EDS”，是利用电子与试样相互作用产生不同能量的特征X射线进行元素定性分析。能谱仪是将特征X射线作为不同能量的光子进行分析。
波谱仪英文缩写是“WDS”，是一种测定X射线的强度与波长函数关系的装置，波谱仪也是SEM（SEM谱仪）的一部分，波谱仪可以与SEM组合（SEM/WDS)，利用SEM的二次电子探 测器及背散射电子探测器，检测电子与试样相互作用产生的二次电子以及对背散射电子信息进行形貌观察。用SEM的WDS附件，测量入射电子与试样相互作用产生的特征X射线波长，进行定性分析，再根 据特征X射线强度进行定量分析。
二、元素分析不同特点说明：
(1)能谱仪与波谱仪相比，在元素分析时有许多不同的特点（下面的为了方便阅读将：能谱仪用英文“EDS”替代，波谱仪用英文“WDS”替代），
EDS可快速、自动地进行多种方法分析，例如定性、定量成分 分析，线分析、面分析及粒度分析等，并可同时测量试样中所有元素，自 动进行数据处理和数据分析，对试样定性、定量分析只需几分钟即可完成。扫描电镜与波谱仪组合(SEM—WDS)时，波谱仪一次只能测量一 个元素。电子探针仪（EPMA)的WDS分析时，每次分析的元素数由谱仪道数决定，一般安装3道或者4道谱仪，多也只能安装5道谱 仪，一次测量的元素数多也只能测量5个。所以，EDS分析速度远 比WDS快。
(2)能谱仪探头紧靠试样，使X射线收集效率提高，EDS收集效率 约为WDS收集效率的100倍。高收集效率有利于对断口、粉体等表 面光洁度不好的试样进行快速元素定性、定量分析。对不平试样进行 快速、无标样定性、定量分析是EDS分析的一个很重要特点。WDS对 不平试样一般无法进行准确定量分析，WDS必须用标样进行定量 分析。
(3)EDS对试样与探测器的几何位置要求低于WDS，EDS可以在 低倍率下获得X射线面分布像，WDS通常要大于1000倍进行X射线 面分布测量。EDS对工作距离与X射线强度的敏感性远低于WDS， 这有利于不平试样的分析。
(4)EDS分析束流一般比较小，对电子束照射后易损伤的试样，例 如生物试样、快离子导体试样等损伤小。对一般试样分析不损坏试样， 试样分析后，可以完好保存或继续进行其他性能的分析测试。即使硅漂移(SDD)能谱仪在大束流分析时，除不稳定试样外，一般也不会对试 样造成明显损伤和破坏。
(5)EDS的缺点是能量分辨率及探测限不如WDS/VB小，谱峰易重叠，定量分析结果一般不如波谱仪，需要液氮或者其他冷却系统。
由于EDS的上述特点，扫描电镜与能谱仪组合（SEM/EDS)的应用范围越来越广，特别是矿物及包体成分分析、钢铁中夹杂物、断口分 析、失效分析等，EDS起了重要作用。SEM/EDS组合的图像分辨率明 显优于EPMA。
三、性能比较图例

提示：关于EDS的分析特点就到这里，想要了解其更详细的可以继续参考资料。